作為一種獲得高真空的設備——玻璃擴散泵，其具有透明、直觀、操作方便以及便于清洗等特點，而且在科研、生產、教學等各個領域中都得到了很廣泛的應用，其的組成部分有很多，包括泵體、油鍋、導流管、傘帽、噴口、冷水壁、冷水帽和冷水擋板等部分組成，其中，有的泵是沒有冷水帽的。玻璃擴散泵的種類也很多，而且，每種類型的玻璃擴散泵的性能特點也都是不盡相同的，下面就讓我們一起來看看吧。
三級油擴散泵、四級油擴散泵、臥式油擴散泵、小型汞擴散泵、大型的汞擴散泵是玻璃擴散泵的幾種典型的種類，其中，三級油擴散泵的體積比較小，所以，適用在較小的真空系統(tǒng)上，可達到10-9托的真空度，40升/秒的抽速，效率很高；四級油擴散泵具有大小兩種規(guī)格，這兩種規(guī)格的極限真空度都是10-10托，在抽速上，小型四級泵可達到約90升/秒，而大型四級泵約為120升/秒，相對要高一些，與三級泵相比，四級泵多了一級噴口，可在較大一點的真空系統(tǒng)上使用。還有一種用途較廣的特殊的大型四級油擴散泵，其的極限真空度可達10-10托，抽速可達300升/秒，這也就決定了其用途廣的特點。
目前，臥式油擴散泵的生產與使用是比較少了，這是由于其在操作上是很復雜的，極限真空度為10-10托，但是抽速卻約為10升/秒，很??；小型汞擴散泵可以在小型的汞真空系統(tǒng)上使用，極限真空度為10-7托，抽速為20升/秒；相比之下，大型汞擴散泵的極限真空與抽速都要比小型汞擴散泵大一些，分別10-10托、130升/秒，是目前抽速較大的一種汞擴散泵；但有一點是需要注意的，那就是，為了避免汞蒸氣進入被抽容器，有些汞擴散泵在使用時候是需要加用冷阱的，這點要注意一下。