1微波管工作需要高真空環(huán)境：微波管是一種放大微波信號的電真空器件，主要包含電子槍、慢波系統(tǒng)、聚束系統(tǒng)、輸能裝置和收集極這五個基本功能部件。
電子槍的功能是由陰極產(chǎn)生電子束，然后利用聚焦極、陽極把電子束會聚、加速，形成一定截面形狀、尺寸和能量的電子注。
慢波系統(tǒng)是用來減慢電磁波沿管子傳播速度的裝置，使電子注和高頻電磁場的相互作用，把電子束的能量轉(zhuǎn)換為的高頻微波能量，使微波管能完成信號放大作用。
聚束系統(tǒng)利用磁場約束電子注的發(fā)散，使其順利穿過慢波系統(tǒng)。輸能裝置是被放大微波信號的入口和出口。
收集極用來收集穿越慢波系統(tǒng)完成能量交換作用后的電子注電流。
可見，微波管利用電場、磁場來控制電子束在其內(nèi)部運動，使電子束產(chǎn)生、加速、運動、收集以及和信號相互作用，以至達到信號放大的目的。因此，避免電子對氣體分子間的碰撞，呆證電子在微波管內(nèi)部的運動規(guī)律，方止發(fā)射熱電子的陰極氧化中毒，把微波管抽到一定真空度保證微波管的正常工作，是絕對必要的。微波管的整個壽命期間要求維持高真空或超高真空狀態(tài)。真空度的好環(huán)直接影響到微波管的可靠性能。
2高真空環(huán)境的獲得和維持微波管內(nèi)的真空度的獲得，主要通過排氣工藝把管內(nèi)氣體抽出，從而獲得一定的真空度。由于微波管結(jié)構(gòu)復雜，零件繁多，一般都是100種以上；真空氣密性焊縫多，一般有幾十道焊縫。所以在排氣時需要加熱到高溫對金屬零件和焊接處進行出氣處理。這樣在微波管工作狀態(tài)下，內(nèi)部零件溫度會身高，就不會出氣了，這樣在工作狀態(tài)下仍然會保證高的真空度。
常用的排氣系統(tǒng)為油擴散泵排氣系統(tǒng)和渦輪分子泵排氣系統(tǒng)，主要組成為前級泵（機械泵、羅茨泵等）粗抽，然后利用主泵（油擴散泵、分子泵等），配置必要的真空管道、一定高真空閥門、所需的真空計（電阻真空計、電離真空計、B-A真空計等）把真空度抽至高真空。當利用油擴散泵時，還需要加一擋油阱，防止泵油對真空器件內(nèi)部系統(tǒng)的污染。
排氣結(jié)束后，真空度能達到106Pa，可以滿足微波管的使用要求。為了提高微波管排氣時的真空度，減少在后工序的放氣量，我們利用獬射離子泵對微波管的排氣，排氣結(jié)束后真空度可以達到2x10-7Pa.排氣結(jié)束后，微波管和排氣系統(tǒng)進行冷封離，在封離過程中機械擠壓使金屬零件放氣，同時微波管在放置一段時間后，由于其本身的高真空，內(nèi)部材料會進行放氣，從而降低了管內(nèi)的真空度。這時我們利用了一種小離子泵（俗稱鈦泵）保證內(nèi)部的真空度，同時在微波管老煉、測試等工序中，管內(nèi)零件經(jīng)過高速電子束的轟擊會產(chǎn)生放氣，需要鈦泵進行抽除。鈦泵的電流還具有檢測微波管內(nèi)部真空度的作用。
在微波管老煉、測試結(jié)束后，這時管內(nèi)的真空度一般都會保持穩(wěn)定。由于鈦泵本身體積比較大，影響微波管的外形尺寸，一般我們會進行去除（對外形無要求的可以不去除）。
但是微波管等電真空器件一般需要一定長壽命，一般指標要求為3年（空間微波管要求20年）。在這長時間的工作中，零件材料本身的缺陷（氣孔、裂紋等）和焊接的死空間可能產(chǎn)生慢性漏氣或者放氣，破壞內(nèi)部的真空度，我們在這里放水機配套的軟水硬度測試劑，以及國內(nèi)一些軟水器廠家配制的硬度測試劑。它們的一個共同特點是：只具有指示劑的作用。即只能定性的指示出其水樣的硬度是否在某一指定值（如0.03mmol/L）范圍內(nèi)。筆者對幾種指示劑作過測試，其誤差比較大，其中有一種誤差達300%. 4使用KS軟水硬度測試劑具有以優(yōu)點：測試速度快、效率高，只需幾秒鐘就可測定一個水樣。